در سال 1959 ریچارد فیلیپس فاینمن مقاله ای را درباره قابلیت های فناوری نانو در آینده منتشر ساخت.
واژه "فناوری نانو" برای اولین بار در یک مقاله علمی در سال 1974 به کار رفت، و اریک درکسلر، مفاهیم فناوری نانو مولکولی را در انستیتوی فناوری ماساچوست درسال 1977 معرفی کرد.
در سال 1981 میکروسکوپ تونل زنی روبشی که دانشمندان را قادر به مشاهده جزئیات ساختار اتم ها ودستـکاری آنهـا می نمود، اختراع شد.
در سال 1985 باکی بال ( کربن خالص کره ای شکل و تو خالی ) کشف شد .
در سال 1988 اولین درس دانشگاهی فناوری نانو عرضه شد .
در سال1990 IBM دستگاهی اختراع کرد که به کمک آن میتوان اتمها را تک تک جابهجا کرد.
در سال1991 نانو لولههای کربنی توسط دانشمندان ژاپنی کشف شدند.
درسال 1993 اطلاعات مربوط به فناوری نانو مولکولی و محصولات مولکولی جمع آوری شد .
درسال 1993 اولین نقاط کوانتومی با کیفیت بالا تولید شد.
در سال1996 اولین کنفرانس اروپایی فناوری نانو برگزار شد .
در سال 1997 اولین نانو ترانزیستور ساخته شد.
در سال2000 اولین موتور DNA ساخته شد.
در سال2001 یک مدل آزمایشگاهی سلول سوخت با استفاده از نانو لوله تولید شد.
در سال 2002 شلوارهای ضد لک مبتنی برفناوری نانو به بازار عرضه شدند.
در سال 2003 نمونههای آزمایشگاهی نانوسلولهای خورشیدی تولید شدند.